具有能量的电子入射到材料内的过程无法直观的观察，可通过计算模拟仿真再现。电子与材料内原子发生相互作用后，表面逃逸出的电子是电子显微成像之源，不同能量出射电子计数构成能谱。该实验包括弹性散射电子的角度分布及非弹性背散射电子的能量分布。通过仿真电子轨迹了解电子在材料内散射过程，可掌握弹性背散射电子出射角度分布特点，更让学生体会到经典力学研究的局限性。电子能谱实验让学生深入了解电子能量损失的物理机制。